云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 梁东

梁东: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：陕西科技大学更多>>; 发文主题：自组装制备HFO2表面形貌HFO微观结构更多>>; 发文领域：一般工业技术更多>>; 发文期刊：《稀有金属材料与工程》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划陕西科技大学研究生创新基金更多>>

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二氧化铪(HfO_2)薄膜的自组装制备: 《稀有金属材料与工程》2009年第A02期609-612,共4页贺中亮谈国强苗鸿雁刘剑夏傲梁东; 国家自然科学基金项目(50672055;50872077);国家科技支撑计划项目(2006BAF02A28);陕西科技大学研究生创新基金资助项目; 以Hf(SO4)2.4H2O和HCl配制HfO2前驱液,利用自组装单层膜技术,在OTS自组装单层膜的功能性基团表面制备晶态二氧化铪薄膜。研究了HfO2前驱液的浓度,退火温度和有机硅烷单分子层等对HfO2薄膜制备的影响。通过接触角测量仪,XRD和SEM等表征手...; 关键词：自组装单层膜法 HFO2 薄膜