晏秋娟

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：SPC工序能力指数可靠性统计过程控制声体波器件更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《压电与声光》更多>>
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SPC技术在声体波器件生产过程的应用被引量：1
《压电与声光》2013年第4期463-466,477,共5页胡瑛 朱昌安 晏秋娟 周勇 吴燕 王栋 
针对高品质声体波微波(MBAW)器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制(SPC)技术实施控制,确保MBAW器件在稳定受控状态下生产。本项应用不仅...
关键词：声体波器件 可靠性 统计过程控制(SPC) 工序能力指数(Cpk) 
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