王瑶

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：湖南大学更多>>
发文主题：SIO2SIO薄膜晶体管微孔栅介质更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《材料导报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于微孔SiO_2栅介质的透明氧化物薄膜晶体管
《材料导报》2013年第6期33-36,共4页颜钟惠 王瑶 吴国栋 轩瑞杰 李想 
国家自然科学基金(11104288);宁波市自然科学基金(2011A610202)
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管。利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征。结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应...
关键词：微孔SiO2 双电层效应 透明氧化物 薄膜晶体管 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部