张健

作品数：1被引量：18H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文主题：大口径衍射元件衍射效率衍射光学空间望远镜更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《光学精密工程》更多>>
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用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件被引量：18
《光学精密工程》2016年第6期1289-1296,共8页张健 栗孟娟 阴刚华 焦建超 刘正坤 徐向东 付绍军 
国家自然科学基金资助项目(No.11375175)
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射...
关键词：衍射光学 大口径衍射元件 PI薄膜 衍射效率 空间望远镜 
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