嵇保健

作品数:2被引量:4H指数:1
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供职机构:成都精密光学工程研究中心更多>>
发文主题:大口径误差分析子孔径拼接传递函数光栅更多>>
发文领域:理学机械工程更多>>
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所获基金:中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
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二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
《强激光与粒子束》2015年第7期58-63,共6页邓燕 王翔峰 嵇保健 石琦凯 
中国工程物理研究院科技发展基金项目(2013B0401066)
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造...
关键词:干涉检测系统 传递函数 二元伪随机光栅 台阶 功率谱密度 中高频 制造误差 
大口径连续相位板拼接检测误差分析被引量:4
《强激光与粒子束》2013年第12期3329-3332,共4页颜浩 杨春林 石琦凯 温圣林 嵇保健 
对大口径连续相位板(CPP)在子孔径拼接检测过程中存在的几种影响检测精度的主要因素,包括定位误差、系统误差和拼接模式等进行了归纳并分析了其对检测精度的影响权重。通过对子孔径重叠区域分布的均匀性计算,分析了检测误差对拼接质量...
关键词:连续相位板 波前检测 子孔径拼接 
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