黎晓辉

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：中南大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：钽NH薄膜形貌电流密度电沉积制备更多>>
发文领域：化学工程更多>>
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电流密度对电沉积制备钽基RuO_2·nH_2O薄膜形貌的影响被引量：5
《材料导报》2006年第3期144-145,151,共3页欧定斌 甘卫平 何捍卫 张伟 黎晓辉 
[军工配套]国防科学技术工业委员会资助项目(2004-1-102)
采用直流电沉积的方法研究了阴极电流密度的变化(1mA/cm2、3mA/cm2、5mA/cm2、10mA/cm2)对RuO2·nH2O薄膜附着力和形貌的影响,并探讨了RuO2·nH2O电沉积的机理。采用SEM、能谱仪、XRD对薄膜的形貌、元素、物相分别进行了分析,并用粒度...
关键词：电沉积 RuO2·nH2O薄膜 附着力 形貌 
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