马文生

作品数：6被引量：25H指数：4
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：反射镜在线检测I超光滑表面AFM更多>>
发文领域：机械工程化学工程理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《宇航学报》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中科院创新基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
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Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的加工被引量：2
《光学精密工程》2011年第4期743-753,共11页王永刚 崔天刚 马文生 陈斌 陈波 
国家自然科学基金资助项目(No.10878004)
针对Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构,研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时的去除函数模型。分析了相关工艺参数,如磨头-工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近距离对去除函数...
关键词：掠入射反射镜 柱面内表面 弹性球状小磨头 两步加工法 表面质量 
Wolter Ⅰ型反射镜面形检测装置的改进被引量：6
《光学学报》2011年第4期132-137,共6页崔天刚 张宏吉 马文生 陈波 
国家自然科学基金(10878004)资助课题
研制出基于长程轮廓测量仪原理的Wolter I型反射镜面形检测装置。为提高该装置测量精度,重点介绍在原有装置基础上所做的扫描光学系统结构和探测器件两方面的改进。利用五角棱镜的光学特性消除导轨运动误差;用位置敏感探测器替代CCD探测...
关键词：测量 WolterI型反射镜面形 表面轮廓扫描 倾斜度误差 位置敏感探测器 
弹性球状小磨头加工WolterⅠ型掠入射反射镜的去除函数被引量：5
《光学精密工程》2011年第1期10-16,共7页王永刚 崔天刚 马文生 陈斌 陈波 
国家自然科学基金资助项目(No.10878004)
提出用弹性球状小磨头以旋进方式加工WolterⅠ型反射镜的柱面内表面,根据Preston方程、Hertz接触理论和掠入射反射镜特殊的柱面结构,推导出基于旋偏动模式的磨头去除函数理论模型。实验结果表明,理论去除函数曲线与实验曲线的均方根距...
关键词：WolterⅠ型掠入射反射镜 Preston方程 弹性球状小磨头 旋偏动模式 去除函数 赫兹接触理论 
Wolter Ⅰ型反射镜面形在线检测装置设计被引量：8
《光学精密工程》2010年第8期1801-1806,共6页崔天刚 王永刚 马冬梅 马文生 陈波 
国家自然科学基金资助项目(No.10878004);中科院创新基金资助项目
由于传统的基于干涉原理的测量方法无法对用于太阳X射线成像仪的WolterI型旋转非球面反射镜进行检测,本文提出了一种在线检测此类反射镜面形的方法。以长程轮廓测量仪的原理为基础,经过改进、整合测量装置并在扫描机构中加入五角棱镜转...
关键词：Wolter I型反射镜 长程轮廓测量仪 顺序扫描 倾斜度测量 
掠入射X射线散射法测量超光滑表面被引量：6
《光学精密工程》2010年第1期60-68,共9页王永刚 孟艳丽 马文生 陈斌 陈波 
国家自然科学基金资助项目(No.40774098;No.10878004)
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱...
关键词：掠入射X射线散射法 超光滑表面 微扰理论 功率谱密度(PSD) 原子力显微镜(AFM) 系统误差 
光学非球面超精密磨削质量控制技术研究被引量：1
《宇航学报》2006年第B12期222-226,共5页程延江 胡忠辉 马文生 陈斌 张志 
应用光学国家重点实验室基金（Z03Q10J）
对光学非球面超精密磨削技术和表面加工质量控制技术进行了理论分析和实验研究。通过对MSG-325金刚石超精密车床的技术改造，可以对各种光学表面进行超精密磨削加工，尤其适合于光学非球面的超精密加工，在较短时间直接达到光学零件的...
关键词：超精密磨削 非球面加工 质量控制 微晶玻璃 
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