顾鑫

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：上海大学通信与信息工程学院更多>>
发文主题：背板光互连激光消融激光技术准分子激光更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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光波导端面的准分子激光刻蚀技术研究被引量：8
《中国激光》2015年第3期120-125,共6页贾娜娜 邓传鲁 庞拂飞 顾鑫 王廷云 
上海市科学技术委员会重点科技攻关项目(13511500500);上海市教育委员会科研创新项目(14ZZ093)
面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合。采用193 nm波长的准分子激光作为光源,通过方形掩模孔径投影在互连背板光波导上,研究了激光能量、激...
关键词：激光技术 准分子激光 光波导 激光消融 光互连 光印刷背板 
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