郑荣军

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：磁控溅射衬底温度退火温度更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
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衬底温度和退火温度对磁控溅射TiNi合金薄膜组织结构的影响被引量：1
《西安理工大学学报》2007年第1期75-78,共4页曹伟产 卢正欣 井晓天 郑荣军 麻西群 
西安理工大学校创新基金资助项目(101-210302)
通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)等测试方法研究了不同的衬底加热温度和不同晶化退火温度对磁控溅射法制备的TiNi薄膜组织结构的影响。结果表明:加热衬底可以降低薄膜的晶化温度,通过控制加热温度可以控制晶...
关键词：TiNi薄膜 组织结构 磁控溅射 
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