王晔

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发文主题：不锈钢TIO托槽射频磁控溅射法X更多>>
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TiO_(2-x)N_x薄膜托槽的摩擦性能研究
《功能材料》2015年第14期14048-14051,14056,共5页岳子琪 王宇 王晔 肖文君 李淼 曹宝成 
甘肃省自然科学基金资助项目(1208RJZA236)
通过射频磁控溅射法,在不锈钢金属托槽表面制备了不同厚度的TiO2-xNx薄膜。薄膜的晶体结构,表面形貌和表面粗糙度分别通过X射线衍射、扫描电子显微镜和2206型表面粗糙度测量仪分析。通过14FW往复摩擦磨损测试仪考察薄膜托槽体外摩擦性...
关键词：射频磁控溅射法 TiO2-xNx薄膜 不锈钢托槽 摩擦系数 不同介质 
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