云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 李明

李明: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：牡丹江师范学院更多>>; 发文主题：HCPDCCVD法CH4CH更多>>; 发文领域：理学化学工程更多>>; 发文期刊：《真空》更多>>; 所获基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>

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DC-HCPCVD法高CH_4流量下纳米金刚石膜的制备及生长特性研究: 《真空》2013年第5期25-27,共3页吴春雷黄海亮郑友进李明张军; 牡丹江师范学院科研项目(QZ201217;QZ201215);黑龙江省教育厅科研项目(11523064;12521577); 在CH4/H2气氛下,利用直流热阴极PCVD(plasma chemical vapor deposition)设备,在高CH4流量下制备纳米金刚石膜。对制备的样品通过扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪对其进行表征。结果表明:随着CH4流量的增加,晶粒尺寸明显减小,...; 关键词：直流热阴极纳米金刚石膜 CH4流量