刘志辉

作品数:1被引量:1H指数:1
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高热导氮化铝陶瓷基板量产控制因素被引量:1
《混合微电子技术》2009年第4期52-54,60,共4页刘志辉 
本文讨论了氮化铝陶瓷基板获得高热导率的基本原理,介绍了批量生产氮化铝陶瓷基板的控制因素,包括原料选择、排胶、烧结气氛控制等。
关键词:氮化铝 热导率 烧结气氛 量产 
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