韩旭

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：长春理工大学更多>>
发文主题：掺氮类金刚石薄膜类金刚石薄膜拉曼光谱结构和光学特性椭圆偏振光谱更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《真空》更多>>
所获基金：吉林省青年科研基金更多>>
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掺氮类金刚石薄膜的微观结构和光学特性研究被引量：1
《真空》2012年第5期42-44,共3页韩旭 唐吉龙 
吉林省青年基金(20100111)
采用射频等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备掺氮类金刚石薄膜(DLC:N),通过原子力显微镜,拉曼光谱和椭圆偏振光谱等对试验样品进行研究,实验结果表明,在薄膜中,氮元素主要以C=N键的形式存在,起到了降低薄膜内应力,提高薄膜附着力的作...
关键词：类金刚石薄膜 原子力显微镜 拉曼光谱 椭圆偏振光谱 
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