任春生

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：三束材料改性国家重点实验室更多>>
发文主题：超厚TIN膜氮化钛结合力离子注入更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《大连理工大学学报》更多>>
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动态混合高结合力超厚TiN膜被引量：1
《大连理工大学学报》1995年第3期317-320,共4页龙振湖 任春生 闫坤 郭宝海 李有宏 张庆瑜 薛恒春 潘曼云 
航空航天部"八五"科技攻关项目
在新型的ＭＢＭＩ多束混合注入设备中、高真空条件下，在Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ基底上采用化学配比态的强流Ｎ￣＋离子束，动态混合真空弧Ｔｉ等离子体束的沉积膜，得到高结合力（Ｌ＿ｃ：１００Ｎ）超厚（１０～３０μｍ）的ＴｉＮ膜。
关键词：沉积 膜 等离子体 离子注入 氮化钛 
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