陈宗强

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：磁控溅射ZRB多层膜结构纳米数对更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
发文期刊：《天津师范大学学报（自然科学版）》更多>>
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磁控溅射参数对ZrB_2/ZrAlN纳米多层膜结构和性能的影响被引量：1
《天津师范大学学报（自然科学版）》2008年第3期30-32,共3页亢原彬 董磊 刘思鹏 乔林 陈宗强 邓湘云 李德军 
天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)
选择ZrB2和ZrAlN作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统在80 nm调制周期下,制备了一系列ZrB2/ZrAlN纳米多层膜,用XRD、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了物相及晶体结构.研究表明:纳米多层膜体系的各项性能随着Ar/N2流量比例...
关键词：ZrB2/ZrAlN纳米多层膜 射频磁控溅射 Ar/N2流量比例 硬度 
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