刘志钢

作品数:1被引量:1H指数:1
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采用原电池法制备纳米多孔硅被引量:1
《纳米技术与精密工程》2007年第1期28-32,共5页宗杨 胡明 窦雁巍 刘志钢 
国家自然科学基金资助项目(60371030).
利用原电池法在硅片表面制备了纳米多孔硅层;用扫描电镜SEM和原子力显微镜AFM观察了多孔硅表面形貌:原电池法与电化学法得到的多孔硅孔径均在10~20nm范围.研究结果表明:铂膜电极厚度的增大以及铂膜电极与暴露硅片面积比的增大,会...
关键词:原电池法 纳米多孔硅 绝热 
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