孙文博

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：华北科技学院机电工程学院更多>>
发文主题：传感器步进电动机PLC金刚石带锯金刚石更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
发文期刊：《金刚石与磨料磨具工程》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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金刚石带锯切割机的电气控制设计被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2015年第6期71-75,共5页胡兴志 孙文博 
中央高校基本科研业务费资助(3142015023;3142015095;3142015099)
金刚石带锯切割机是半导体晶圆加工前道工序中重要设备,是针对单晶炉提拉成的半导体晶棒进行切断或对晶棒切片进行质量诊断分析而设计的,具有切断和切片功能。在机械设计方面,采用了直线滚动导轨、交流伺服电机驱动、摆动式工作台、随...
关键词：金刚石带锯 张力控制 传感器 摆动切割 变速进给 步进电动机 PLC 
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