赵龙波

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室更多>>
发文主题：衍射光学激光直写线宽全息图全息更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作被引量：4
《激光与光电子学进展》2014年第11期122-128,共7页赵龙波 张志宇 朱德燕 王延超 郑立功 张学军 
国家自然科学基金(51305422);国家973计划(2011CB013200)
为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关...
关键词：全息 衍射光学元件制作 线宽 非球面检验 
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