袁媛

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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：FBAR物理传感器声波质量传感器更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
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FBAR技术的敏感应用与发展研究
《压电与声光》2014年第1期19-26,31,共9页何杰 袁小平 刘荣贵 许昕 李昕 袁媛 毛海燕 马晋毅 
薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型...
关键词：薄膜声体波谐振器(FBAR) FBAR质量传感器 FBAR物理传感器 声波质量传感器 
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