崔彬

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：西安电子科技大学技术物理学院更多>>
发文主题：TIO_2薄膜TIO2薄膜光谱研究椭圆偏振椭偏光谱更多>>
发文领域：理学更多>>
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TiO_2薄膜的椭圆偏振光谱研究被引量：2
《稀有金属材料与工程》2007年第A03期17-20,共4页魏权 曹全喜 姜海青 李智敏 崔彬 
采用溶胶.凝胶工艺制备TiO_2薄膜。XRD结果表明所制备TiO_2薄膜为锐钛矿结构。场发射SEM结果显示TiO_2薄膜致密、无裂纹,晶粒尺寸约为60～100 nm,单层薄膜厚度约为50 nm,且膜厚随着热处理温度的升高而增大。采用椭圆偏振光谱仪测试了薄...
关键词：TIO2薄膜 溶胶-凝胶工艺 椭偏光谱 
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