夏鹏

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:东北师范大学更多>>
发文主题:非晶激光辐照透明导电薄膜深紫外更多>>
发文领域:理学更多>>
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所获基金:国家教育部博士点基金吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
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紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响被引量:3
《中国科技论文》2016年第17期1979-1982,共4页夏鹏 马剑钢 张昕彤 薛金玲 林东 
国家自然科学基金资助项目(91233204);吉林省科技发展计划资助项目(20140309012GX;20140201008GX);教育部高等学校博士学科点基金资助项目(20110043120004;20120043110002)
为了降低溶胶凝胶法制备透明导电薄膜的热退火温度,将溶胶-凝胶法与深紫外激光处理相结合,在石英玻璃衬底上制备了非晶铟锌氧(InZnO、IZO)透明导电薄膜。通过X射线衍射、紫外-可见光吸收光谱、霍尔效应测试以及红外光谱等测试手段,分析...
关键词:透明导电薄膜 溶胶凝胶法 非晶铟锌氧 深紫外激光辐照 
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