刘慧

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Pt_xIr_(1-x)Si/p-Si红外探测器的研制
《半导体光电》2009年第6期815-817,827,共4页李华高 刘慧 白雪平 刘英丽 王艳 
使用超高真空磁控溅射系统在p—Si上制备了铂铱硅（PtxIr1-xSi）薄膜，并制作了PtxIr1-xSi／p-Si红外探测器，研究了探测器在3～5btm波段的特性，结果表明，PtxIr1-xSi／p-Si势垒高度为0．177eV，相应红外探测器截止波长为7．0μm。与...
关键词：肖特基势垒 红外探测器 焦平面阵列 铂硅 铱硅 
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