云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 余松

余松: 作品数：1被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：暨南大学更多>>; 发文主题：退火时间溅射制备透明导电直流磁控溅射直流磁控更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《科学技术与工程》更多>>; 所获基金：广东省教育部产学研结合项目广东省自然科学基金广东省粤港关键领域重点突破项目更多>>

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直流磁控溅射制备透明导电ZAO薄膜退火处理时间的研究被引量：5: 《科学技术与工程》2011年第6期1192-1196,共5页史君黛杨恢东黄波许宝玉余松; 广东省省部产学研项目(2008A090400011);广东省粤港关键领域招标项目(2008A011800005;2009205115;20090101-4);广东省自然科学基金项目(06025195;9151027501000076);浙江大学硅材料国家重点实验室访问学者基金项目(SKL2009-13)资助; 为改进太阳能薄膜材料制备工艺,利用直流磁控溅射方法,在较高氩气压强——12.7 Pa下制备出透明导电掺铝ZnO(ZAO)薄膜,并对其进行退火处理时间的研究。与其他研究者不同,利用较高压强也制备出高性能ZAO薄膜,并且可以利用退火处理改善薄...; 关键词：ZAO 直流磁控溅射退火时间