贾雅婷

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文主题：缓冲层开关芯片更多>>
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基于各向异性磁阻的开关芯片的制备及优化被引量：3
《功能材料》2013年第4期577-580,共4页艾明哲 贾雅婷 陈忠志 徐慧中 彭斌 
四川省科技支撑计划资助项目(2011GZ0118)
采用射频磁控溅射法用Ta作为缓冲层,在集成电路晶元上制备NiFe薄膜,并研究分析了Ta缓冲层厚度以及Ta缓冲层溅射功率对NiFe磁阻薄膜性能的影响,通过测试结果可以得到,当溅射功率由小变大时,NiFe薄膜的磁阻值也由小变到大。当Ta层的厚度在...
关键词：各向异性磁阻 NiFe薄膜 缓冲层 磁阻开关 
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