李振东

作品数：1被引量：1H指数：1
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真空镀膜领域射频叠加直流偏压技术研究被引量：1
《机电工程》2013年第8期919-923,955,共6页陈树君 王海亮 刘松 李振东 王建新 徐晶晶 
国家重点基础研究发展计划("973"计划)资助项目(6113112KY-2011-2)
针对射频辉光放电过程中射频电源与直流偏压电源的叠加问题,通过分析阻抗匹配网络和高频屏蔽网络的工作原理,利用阻抗匹配网络将射频电源的高频能量最大效率的输出到真空室,利用高频屏蔽网络将射频电源的高频能量进行屏蔽的同时将直流...
关键词：射频电源 直流偏压 阻抗匹配 真空镀膜 
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