孟婷

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供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文主题：氧流量WO薄膜晶体管沟道电学更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《复旦学报（自然科学版）》更多>>
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氧流量对a-IWO薄膜及其薄膜晶体管电学性能的影响
《复旦学报（自然科学版）》2016年第6期766-771,共6页孟婷 杨建文 张智翔 张群 谢汉萍 
国家自然科学基金(61136004,61471126)
本文采用射频磁控溅射方法,制备了非晶掺钨氧化铟(a-IWO)薄膜及其薄膜晶体管(TFTs),并探讨了溅射过程中氧流量对a-IWO薄膜及其TFTs性能的影响.研究发现,随着沉积过程中氧流量的增加,a-IWOTFTs器件的饱和迁移率降低,阈值电压正向偏移,说...
关键词：a-IWO沟道层 薄膜晶体管 氧流量 
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