云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈仁

陈仁: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：湖北大学材料科学与工程学院更多>>; 发文主题：BST薄膜刻蚀工艺钛酸锶钡湿法化学刻蚀溶胶凝胶法更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《湖北大学学报（自然科学版）》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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BST薄膜的湿法化学刻蚀工艺优化及应用初探被引量：1: 《湖北大学学报（自然科学版）》2010年第4期418-421,共4页黄鹤章天金潘瑞琨陈仁范生强; 国家自然科学基金项目(50672022);湖北省耐火材料与高温陶瓷重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地项目(G0701)资助; 采用sol-gel法在SiO2/Si衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用湿法化学刻蚀技术对BST薄膜进行图形化.通过实验结果对比,选择HF/HNO3/H2O2/H2O(体积比为1∶20∶50∶20)的混合液作为最佳刻蚀液.扫描电镜(SEM)结果表明,刻蚀后BST薄膜...; 关键词：钛酸锶钡湿法化学刻蚀溶胶凝胶法工艺优化应用