王朔

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氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计
《传感器与微系统》2008年第10期104-106,共3页徐凌 任先武 周明军 栾剑 王朔 
设计了测量氧化铝湿度传感器的湿度源装置,该装置由5个固体干燥剂湿度源单元组成。实验了露点9.3^-33.5;9.3^-65.2℃;-14.5^-65.2℃;-65.2^-14.5℃转换时的平衡时间特性,实验验证了湿度源单元的准确性。结果表明:露点-65.2^-14.5℃转换...
关键词：湿度传感器 露点 干燥剂 湿度源 
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