王凤军

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：青岛大学化工学院更多>>
发文主题：AFMXPS溅射法制备碳膜射频磁控溅射更多>>
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靶基距对射频磁控溅射法制备氟碳膜的结构与性能影响被引量：4
《功能材料》2011年第5期918-920,共3页刘增机 纪全 张浴晖 夏延致 王凤军 
国家自然科学基金资助项目(50673046)
采用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯(PT-FE)为靶,氩气为载气,在再生纤维素基底上制备了氟碳膜。用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和静态接触角测试仪对氟碳膜的表面形貌、表面结构和表面性能进行了研究。结果表明,该法制得的氟...
关键词：射频磁控溅射 靶基距 AFM XPS 接触角 
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