云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 李明勇

李明勇: 作品数：2被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：北方工业大学更多>>; 发文主题：锆钛酸铅并联连接开关触点接地信号微驱动器更多>>; 发文领域：化学工程理学一般工业技术更多>>; 发文期刊：《硅酸盐学报》《人工晶体学报》更多>>; 所获基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>

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铌掺杂锆钛酸铅薄膜的制备及其用于微机电系统的机电特性被引量：2: 《硅酸盐学报》2017年第7期990-994,共5页狄杰建李明勇刘京京周添李欢谭晓兰宋维力赵全亮; 国家自然科学基金项目(51305005;51375017);北京市自然科学基金项目(3172009);北京市自然科学基金委员会-北京市科学技术研究院联合资助项目(16L00001);深圳市海外高层次人才团队专项资金资助项目(KQE201106020031A); 采用溶胶-凝胶法在LaNiO_3/Si衬底上制备了Nb_(0.02)-Pb(Zr_(0.6)Ti_(0.4))O_3(PNZT)薄膜及其驱动的微机电系统(MEMS)技术制作的微悬臂梁器件,研究了PNZT薄膜结构和电学性能以及悬臂梁器件的机电特性。结果表明:该PNZT薄膜具有随机取向...; 关键词：铌掺杂锆钛酸铅薄膜微机电系统溶胶-凝胶法机电特性