张旭辉

作品数：1被引量：1H指数：1
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MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制被引量：1
《微纳电子技术》2011年第3期189-193,共5页吕树海 杨拥军 徐淑静 张旭辉 
介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成,加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件,该器件通过微...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 温度传感器 加速度 角速率 热对流 
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