刘玉杰

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：北京理工大学信息科学技术学院光电工程系更多>>
发文主题：微执行器微反射镜阵列器件更多>>
发文领域：机械工程更多>>
发文期刊：《光学与光电技术》更多>>
所获基金：北京市自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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微反射镜阵列器件技术及其应用被引量：4
《光学与光电技术》2008年第3期76-80,共5页蒋剑良 孙琼 刘玉杰 
教育部留学回国人员科研启动基金(20060132002);北京市自然科学基金(4073040)资助项目
概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式,以及现有商用阵列器件的情况。就4种驱动方式,介绍了其机电特性和工艺特点,并进行比较分析,指出选择驱动方式应依据应用的性质、工艺集成难度和成本效益原则。总结了微反射镜阵列器件在5...
关键词：微反射镜阵列 微执行器 应用 
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