刘庆海

作品数：1被引量：9H指数：1
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供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：传感器研究压阻效应悬臂梁温度传感器ME更多>>
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表面微机械MEMS温度传感器研究被引量：9
《传感技术学报》2015年第3期325-329,共5页刘庆海 黄见秋 
国家863计划项目(2012AA040502)
提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温...
关键词：压阻效应 悬臂梁 表面微机械 温度传感器 
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