薛向融

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
发文主题：表面形貌AL-CU-FE粗糙度磁控共溅射CU更多>>
发文领域：理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《热加工工艺》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：上海市教育委员会重点学科基金上海市科学技术发展基金更多>>
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基底材料对磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜特性的影响被引量：1
《强激光与粒子束》2008年第10期1741-1743,共3页周细应 薛向融 徐洲 
上海市科技发展基金资助课题(07ZZ159);上海市重点学科建设资助课题(J51402)
采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜,选用抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料。通过原子力显微镜分析薄膜的表面形貌,利用扫描电镜能谱仪分析薄膜的元素含量;通过MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的结合强度和...
关键词：Al—Cu—Fe薄膜 磁控共溅射 基底材料 表面形貌 结合强度 粗糙度 
基底材料对Al-Cu-Fe共溅射薄膜的影响
《热加工工艺》2008年第11期85-87,共3页周细应 薛向融 徐洲 
上海市科技发展基金资助项目(07ZZ159);上海市重点学科建设资助项目(J51402)
以抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料,采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜。利用原子力显微镜、能谱仪和MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的表面形貌、元素含量、结合强度和摩擦系数。分析结果表明:不锈钢作...
关键词：薄膜 基底材料 表面形貌 结合强度 
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