李善武

作品数：1被引量：13H指数：1
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供职机构：中国航空工业集团公司中国空空导弹研究院更多>>
发文主题：表面疵病硅红外材料单晶硅精磨更多>>
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红外材料硅透镜加工工艺研究被引量：13
《红外与激光工程》2006年第3期359-361,370,共4页徐岩 李善武 杨新华 陈洪许 
随着红外空空导弹的发展,红外光学材料单晶硅得到了广泛的应用。介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件。实验结果表明:使用SiO2胶...
关键词：单晶硅 表面疵病 精磨 机械-化学抛光 
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