徐楚平

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:深圳信息职业技术学院电子通信技术系更多>>
发文主题:布拉格反射镜DBR键合质量键合可调更多>>
发文领域:理学电子电信更多>>
发文期刊:《激光与红外》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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光路可调的红外透射方法检测键合质量被引量:1
《激光与红外》2010年第6期644-647,共4页何国荣 王瑞春 徐楚平 郑婉华 陈良惠 
国家自然科学基金项目(No.60837001);国家高技术研究发展计划项目(No.2007AA03Z410);深圳信息学院青年自然科学基金项目(No.QN-08011)资助
基于红外透射原理,采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系统。利用该系统可以很好的实现GaAs,InP材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测,同时本文以GaAs基分布布拉格反射镜(DBR)和InP基有源区键合为例,结合红外...
关键词:键合 红外透射 布拉格反射镜(DBR) 
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