刘戈

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可变占空比的双脉冲电源在铜铟镓硒预置层制备中的应用
《真空》2008年第4期87-89,共3页刘戈 李凤岩 刘一鸣 于涛 孙云 
天津重大攻关;创新资金(合同号:06FZZD9X1200);863课题(项目号:2004AA513020)。
用交替溅射的方法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。通过可变占空比的电源控制器实现对Cu/Ga合金靶以及In靶溅射时间的控制,进而实现对最后元素配比的控制。实验中发现,在一个溅射周期中,Cu/Ga合金靶溅射时间对最后成分影响最大,其次...
关键词：铜铟镓硒 溅射 SPIK-2000A 
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