冯强

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双压电片振子精密载物工作台研究
《压电与声光》2006年第1期36-38,42,共4页程光明 华顺明 杨志刚 曾平 冯强 
国家"八六三"计划基金资助项目(2002AA423150)
利用两端固支的双压电晶片在电场作用下可弯曲变形,且有中心区域变形量大的特点,并研制了一种简单的基于粘-滑(stick-slip)原理的步进式载物工作台实验装置。该装置结构简单,可在工作平面实现二维移动。进一步分析了该装置的结构特点和...
关键词：压电晶片 锯齿波 粘-滑原理 精密载物工作台 
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