陈卫华

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：面形镀膜元件应力更多>>
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镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应被引量：1
《强激光与粒子束》2009年第6期851-854,共4页祝沛 沈卫星 陈卫华 张伟 
对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时,表面面形发生的变化进行了研究。理论分析了表面面形的变化机制,明确水致应力具有物理和化学两种形成机制,是改变镀膜元件面形的主要因素;实验研究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面...
关键词：薄膜 水致应力 面形 时间效应 湿度效应 
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