孙灵光

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供职机构：四川大学材料科学与工程学院更多>>
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发文领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
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Ti薄膜在Si基底上的生长模拟
《功能材料》2013年第5期727-730,735,共5页吴清英 陈小龙 孙灵光 罗顺忠 朱建国 
国家自然科学基金资助项目(50871106);中物院重点基金资助项目(2010A0301011)
利用三维动态蒙特卡洛模型模拟了Si基底上沉积Ti薄膜的初始期间的生长特性。模拟结果发现,在扩散截止步长为50的情况下,沉积温度和沉积速率对Ti薄膜初始生长模式和表面形貌有明显的影响。模拟结果表明,随着沉积温度的增加,Ti薄膜的初始...
关键词：Ti薄膜 蒙特卡洛 模拟 表面形貌 
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