王晓松

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供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
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反应离子束蚀刻中的草地现象及其改善
《光学仪器》2008年第5期24-30,共7页王晓松 冀翔 张恒伟 杨国光 范秋虎 时海 
针对波导沟道制作的蚀刻工艺,讨论利用反应离子束蚀刻技术制备波导沟道的工艺条件对面形的影响,对严重影响面型的草地现象形成原因和工艺改善进行实验实践,包括光刻胶、温度效应、二次效应等因素,并提出进行光学稳定、调节离子入射角和...
关键词：反应离子束刻蚀(RIE) 温度效应 二次效应 草地现象 
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