王丽江

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：隔振橡胶减振器甩干机半导体设备惯性主轴更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
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半导体设备回转件设计中的动力学问题探究
《电子工业专用设备》2018年第6期18-22,36,共6页王勇威 王文丽 黄鑫亮 胡天水 王丽江 
半导体设备回转构件不平衡引起的振动直接制约着设备的加工精度及可靠性。研究回转构件转子动力学所涉及的系统受迫振动、转子临界转速和惯性主轴等问题,为刚性转子设计寻找理论依据;再通过刚性转子平衡理论,对比动平衡机平衡及现场动平...
关键词：转子动力学 惯性主轴 临界转速 动平衡 
甩干机隔振系统设计及实验研究被引量：1
《电子工业专用设备》2018年第2期62-66,共5页王勇威 张伟锋 刘盈楹 胡天水 王丽江 
甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动。为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递路径进行了分析,再通过分析隔振理论及橡胶减振器的性能特征,...
关键词：甩干机 隔振 橡胶减振器 
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