朱剑豪

作品数:1被引量:1H指数:1
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ZnO/p-Si异质结构的电学输运特性被引量:1
《Journal of Semiconductors》2007年第z1期149-152,共4页顾启琳 陈旭东 凌志聪 梅永丰 傅劲裕 萧季驹 朱剑豪 
香港特别行政区研究资助局资助项目(批准号:7032104)
采用等离子体浸没离子注入沉积方法,在p型Si衬底上制备了具有整流特性的、非故意掺杂的以及掺氮的ZnO/p-Si异质结.非故意掺杂的ZnO薄膜为n型(电子浓度为1019cm-3数量级),掺氮的ZnO薄膜为高阻(电阻率为105Ω·cm数量级).非故意掺杂的ZnO/...
关键词:PIII&D ZnO/p-Si异质结 ANDERSON模型 空间电荷限制模型 电流输运 
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