姜宏伟

作品数：1被引量：11H指数：1
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：MRRSOI可调谐滤波器绝缘体微环谐振更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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SoI基微环谐振可调谐滤波器被引量：11
《光电子．激光》2011年第6期813-815,共3页姜宏伟 吴远大 
国家“863”计划资助项目(2007AA03Z420);国家自然科学基金资助项目(60977045)
采用电子束光刻和ICP刻蚀等工艺制作出绝缘体上Si（SoI）基纳米线波导微环谐振（MRR）滤波器,波导截面尺寸为300 nm×320 nm,微环半径为5μm。测试结果表明,器件的自由频谱宽度（FSR）为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比（ER）为18.1 d...
关键词：绝缘体上Si(SoI) 纳米线波导 微环谐振(MRR) 滤波器 热光效应 
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