万小欢

作品数:1被引量:4H指数:1
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发文主题:机械研磨镀铜镀层结构电镀铜电沉积更多>>
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水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究被引量:4
《表面技术》2010年第3期74-77,共4页吕小莉 冯长杰 钟小荣 万小欢 杜楠 
江西省自然科学基金资助项目(2008GQC0038)
在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,利用SEM和XRD考察了玻璃球数量与震荡频率对机械研磨电镀工艺的影响,并探讨了水平震荡频率和玻璃球数量对镀层微观结构的影响机理。实验结果表明:固定玻璃球数量为80个,震荡频率为2.5~4.2 Hz时,所得镀...
关键词:水平震荡 机械研磨 电沉积 镀铜 镀层结构 
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