惠冰

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供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
发文主题：HFO薄膜光学常数包络法光学常数热蒸发更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《长春理工大学学报（自然科学版）》更多>>
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热蒸发HfO_2薄膜光学常数表征
《长春理工大学学报（自然科学版）》2017年第3期18-21,37,共5页常艳贺 惠冰 张静 冯时 赵群 
长春理工大学青年科学基金项目(XQNJJ-2015-05)
薄膜材料库中的光学常数与实际制备的相比有很大差别,精确求解在特定工艺条件下的光学常数对设计和制备多层薄膜具有重要意义。在熔融石英(JGS1)基底上,采用热蒸发沉积方法制备了厚度为330nm的单层HfO_2薄膜,利用分光光度计测量薄膜的...
关键词：薄膜 光学常数 包络法 光度法 HFO2 
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