冯奇

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发文主题：磁性能YIG钇铁石榴石铁氧体薄膜铁磁共振更多>>
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酸腐蚀优化YIG薄膜表面及磁性能研究
《电子元件与材料》2017年第8期60-63,共4页冯奇 郑辉 郑鹏 徐建定 陈娟景 郑梁 
浙江省科技计划项目资助(No.2017C31019)
主要针对射频磁控溅射法所制备的钇铁石榴石铁氧体薄膜,利用盐酸溶液对其表面进行腐蚀处理,探究腐蚀时间对薄膜表面微观结构及磁性能的影响。研究发现随着腐蚀时间的延长,薄膜表面粗糙度先减小后增大,并在腐蚀5 min时得到最小的算术平...
关键词：铁氧体薄膜 铁磁共振 酸腐蚀 粗糙度 磁控溅射 钇铁石榴石 
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