何秀坤

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半导体硅特性显微FTIR测量技术研究
《半导体技术》1994年第3期43-45,共3页李光平 汝琼娜 李静 何秀坤 
本文针对大规模集成电路应用需要，采用显微付里叶变换红外光谱仪研究了硅中的氧、碳含量，硼、磷硅玻璃中的硼、磷含量及外延层厚度的微区测量技术，在光孔尺寸为１００×１００μｍ级时，测量精度达到国标的要求，空间分辨率提高了近...
关键词：半导体材料 硅 测量 显微镜 
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