高尚武

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供职机构:河北建筑工程学院数理系更多>>
发文主题:磁性COTIO_2薄膜稀磁半导体微结构更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《实验室研究与探索》更多>>
所获基金:河北省科技厅科研项目国家自然科学基金更多>>
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退火温度对反应共溅法制备CoTiO_2薄膜的影响
《实验室研究与探索》2017年第8期10-13,共4页吴佺 许佳玲 贾利云 高尚武 靳晓庆 
国家自然科学基金项目(10774037);河北省科技厅项目(13211032;15211036);张家口市指令项目(1611070A);河北省研究生创新资助项目(sj2016022)
通过超高真空反应磁控共溅射方法制备了CoTiO_2薄膜样品,在退火过程中加入了紫外光照射,研究了退火温度在反应共溅法中对薄膜微结构和磁性能的影响。形貌和结构研究表明,随着退火温度的升高样品的表面颗粒尺度逐渐减小,温度越高越有利...
关键词:稀磁半导体 磁性 微结构 对靶磁控共溅 
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