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三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究被引量：1
《传感器与微系统》2023年第4期43-46,共4页李海生 许高斌 冯建国 马渊明 
设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源,用于非色散红外吸收光谱气体传感器。MEMS红外光源以硅(Si)为基底,铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元,采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性。光源采用三梁固支...
关键词：微机电系统 红外光源 三端梁结构 金属反射层 
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